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滑閥式真空泵的工作原理及結(jié)構(gòu)

Oct 21,2021

滑閥式真空泵的工作原理及結(jié)構(gòu)
滑閥式真空泵的工作原理

  滑閥真空的主要結(jié)構(gòu)包括泵體、偏心輪、滑閥組件和導軌等。與泵腔同心的傳動軸帶動偏心輪旋轉(zhuǎn)，偏心輪帶動滑閥環(huán) 移動，使滑閥桿在導軌上上下滑動。 左右擺動。 滑閥將泵腔分為A、B兩部分，當傳動軸按圖示方向旋轉(zhuǎn)時，A腔容積增大，壓力降低，氣體通過進氣口進入A腔 和滑閥桿（A腔的一側(cè)開口）。 此時，它處于吸入過程中。 滑閥繼續(xù)順時針旋轉(zhuǎn)至左上方位置。 當A腔容積達到較大時，進氣口與A腔隔離，吸氣過程結(jié)束。 同時，B腔的容積也在不斷地減少和壓縮氣體。 當B室氣體壓力達到排氣壓力時，推開油封排氣閥開始排氣。 當滑閥在正上方位置時，排氣結(jié)束（A腔容積也較大），新一輪循環(huán)過程開始。

滑閥式真空泵

  滑閥式真空泵的結(jié)構(gòu)特點

  滑閥式真空泵的主要結(jié)構(gòu)包括泵體、偏心輪、滑閥環(huán)、滑桿、導軌等一系列部件。 與旋片真空泵類似，滑閥泵也裝有氣鎮(zhèn)閥。 氣鎮(zhèn)孔開在排氣口附近或端蓋上，用于排出含有可凝性蒸氣的氣體，并在泵出口處安裝油氣分離器。  ，減少泵油損失和環(huán)境污染。

  滑閥式真空泵可以像旋片真空泵一樣單獨使用。 也可作為擴散泵、油增壓泵、羅茨泵等真空泵的前級泵。 與旋片泵相比，滑閥泵更耐用。 廣泛應(yīng)用于真空鍍膜、真空熱處理、真空燒結(jié)、分子蒸餾、航空模擬實驗等領(lǐng)域。 但在有水蒸氣、灰塵等介質(zhì)的環(huán)境中，需要安裝過濾裝置，不能在易燃易爆氣體環(huán)境和壓縮氣體中使用。 同時，受限于油封式機械真空泵的特性，在一些潔凈環(huán)境領(lǐng)域，如半導體、石油化工等，適用性不如一些干式真空泵。